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所以旋片泵极限真空度下降，噪声大，卡死等现象，与油的质量和机械转动有关。油扩散泵：油扩散泵是目前生产中 常用的高真空泵，被广泛用于真空电子器件的排气车、真空冶炼、真空热、真空镀膜与真空焊接等设备中。它的主要特点是在高真空下。对各种气体都有很高的抽速，使用维护都很方便，无机械运动，不易损坏，但不足之处不能单独使用，必须有前级泵方可工作。油扩散泵是一种蒸气流泵，其工作原理利用蒸流的作用来将低密度气体压缩为较高密度使其达到机械泵能够作用气体压强范围被抽走。
